本文為日本オプトソルテック株式會社技術(shù)部撰寫的一篇文章，介紹了光學(xué)薄膜材料中特別是TiO 2薄膜的機(jī)械特性。從作者制作的蒸著膜的結(jié)果，以及搜集整理的研究者們根據(jù)各種成膜方法制作的薄膜的機(jī)械特性報(bào)告數(shù)據(jù)，確認(rèn)了應(yīng)力，硬度，彈性率、附著力等機(jī)械特性，通過因成膜方法和成膜條件等不同而變化的薄膜的密度和結(jié)晶性，而相互影響。另外，因?yàn)檫@些特性也關(guān)系到光學(xué)特性，所以在探索符合機(jī)械特性薄膜的制作方法和滿足條件的同時，還必須兼顧考慮光學(xué)特性。另外，因兼顧光學(xué)特性會導(dǎo)致在材料的選擇上范圍變窄，但通過對材料的種類或狀態(tài)的選擇，來控制薄膜的機(jī)械特性也是可能的。
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